超声波风速仪,位置传感器,液位传感器,超声波风速风向仪,便携式气象站,玻璃车床,放射性检测仪,颗粒物采样器,玻璃金属封接设备,气体流量校准仪

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FCVD系统

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如果您对该产品感兴趣的话,可以 产品名称: FCVD系统
产品型号: FCVD
产品展商: Arnold
关注指数:2043
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简单介绍

通用玻璃车床,自动化气体供应和混合系统,Restoxyd室控制内部压力,MCVD车床上可安装的感应电炉,成为FCVD系统感应电炉移动架。 MCVD系统用的喷灯可通过快速接头拆卸,感应电炉移动架可方便将感应电炉移入设备中间安装位置。成为FCVD系统。

FCVD系统

   的详细介绍

德国ARNODLD自光纤发展以来总是提供MCVD和PCVD基础车床,比如: SEL, Stuttgart; IPHT; Philips, Eindhoven; Schott, Mainz; 从事独立研发过程,2005年收购HEATHWAY公司,并与LOGITEX公司合作,我们现在可为研发过程提供完整的不锈钢气柜系统和光纤拉丝塔。
通用玻璃车床,自动化气体供应和混合系统,Restoxyd室控制内部压力,MCVD车床上可安装的感应电炉,成为FCVD系统感应电炉移动架。
MCVD系统用的喷灯可通过快速接头拆卸,感应电炉移动架可方便将感应电炉移入设备中间安装位置。成为FCVD系统。

MFC质量流量计规格:
数字ProfiBus MFC
典型精度:   ±1%,设定点为20~100% 满量程 
典型精度:   ±0.2%,为2~20% 满量程
重复性:    ± 0.3% 读数
分辨率:  0.1%满量程
工作温度: 10°C ~ 50°C (环境)

FCVD系统中气体浓度测量系统: (另选)
3个“Lorex” 气体传感器,测量SiCl4, GeCL4, POCl3液气掺杂物。
通常我们测量重量:xx mg/min 液气(PoCl3, GeCl3, SiCl4)在载气(氧气)中重量。但你也可以计算体积和百分比。
气体浓度传感器/输送控制系统 可重现蒸气输送控制的行业标准。气体浓度传感器已成为半导体制造行业的行业标准,可用于在 CVD 和 MOCVD 工艺流程中,高精度监控前体化学蒸气和掺杂气体,从而实现可重现的输送控制。经生产验证该系统能为您提供:通过严格控制制程气体和前体化学蒸气的输送,提高工艺的可重现性和良率。通过更高效地利用前体化学品、更充分地利用前体化学源、降低气体流向排气口的时间,从而降低工序成本。通过获取设备和工艺工程师可直接读取的定量信息,设备间的匹配更为简便。通过内置诊断工具,为气体和蒸气输送系统的故障排除提供帮助。
气体浓度测量系统
改进过程重复性
增加产量
低成本操作
使得工具-工具匹配方便
方便错误诊断,优化气体传送系统

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